《硅片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》（GB/T39145-2020）【全文附PDF版下載】

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標準號：GB/T39145-2020

中文標準名稱：硅片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

英文標準名稱：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers-Inductively coupled plasma mass spectrometry

中國標準分類號（CCS） H17 國際標準分類號（ICS） 77.040

發(fā)布日期 2020-10-11 實施日期 2021-09-01

主管部門 國家標準化管理委員會 歸口單位 全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位 國家市場監(jiān)督管理總局、中國國家標準化管理委員會

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本文關(guān)鍵詞： 硅片, 表面, 金屬, 元素, 含量, 測定, 電感, 耦合, 等離子體, 質(zhì)譜法, GB, 2020, 全文, PDF版, 下載